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PH-2 設(shè)備主要針對中大型晶圓材料篩選排片，最大可搭載12”(英吋)晶圓環(huán)子彈匣上料 (上料平臺向下兼容8”/6” 晶圓環(huán)子彈匣) ，排片區(qū)可選配8”手動/自動晶圓環(huán)排片平臺或Waffle Tray平臺系統(tǒng)。排片精度在 ±0.03mm以內(nèi)，產(chǎn)能可達 3000uph (視乎物料規(guī)格)。

上料

最大可搭載12”(英吋)晶圓環(huán)子彈匣上料 (上料平臺向下兼容8”/6” 晶圓環(huán)子彈匣) ，

排片下料

可選配8”自動晶圓環(huán)平臺，或Waffle Tray 托盤用以放入多個 Waffle料盒排放晶元