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PH-3 設備是利用寶創(chuàng)自主研發(fā)的擺臂系數，加上雙頭拾放完成晶元片正反面的全方位視覺檢測，保證完全合格產品經篩選后排片至下料平臺。設備可搭載8”(英吋)晶圓環(huán)手動上料 (上料平臺向下兼容6” /5” /4” 晶圓環(huán)) ，排片區(qū)則為一套230mm x 300mm真空平臺，可在上方放置8”晶圓環(huán) 或Waffle Tray托盤。排片精度進在 ±0.03mm而產能可達 5000uph (視乎物料規(guī)格)。

高速擺臂運動機構

寶創(chuàng)專利設計的“高速擺臂系統(tǒng)”已超越了將過同類廠家的擺臂精度和速度，在擺臂機構的安裝結構上不斷改良創(chuàng)新，力求有效將設備排片精度和運送速度達至最高水平。

180° / 90°轉運系統(tǒng)

晶元經過“轉運系統(tǒng)”時可以通過上下高速攝像機對晶元進行輪廓高清檢查，從而確保排放至排片平臺的晶元件均為100%合格品，并且可加快晶元運輸節(jié)拍和維持設備高產能，最高產能可達至 5000uph。

擺片方式 (一)

從 Wafer盤上的硅晶元取料擺放至貼片平臺上的法蘭盤中，并按序排列。

擺片方式 (二)

從 Wafer盤上的硅晶元取料擺放至貼片平臺上的Tray盤(料盒)中，并按序排列。